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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：半導(dǎo)體制造密封件

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商：其它品牌
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
詳情介紹：
氟橡膠（FKM）是一種含氟原子的合成高分子彈性體，具有耐高溫、耐油、耐化學(xué)腐蝕等特性，在半導(dǎo)體制造中主要用于設(shè)備密封件，但傳統(tǒng)FKM在等離子體環(huán)境下易老化產(chǎn)生顆粒污染；當(dāng)前半導(dǎo)體密封件主流材料為全氟醚橡膠（FFKM），性能更優(yōu)但成本更高，國(guó)產(chǎn)化率仍在提升中。
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