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產(chǎn)品名稱(chēng):半導(dǎo)體制造密封件
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氟橡膠(FKM)是一種含氟原子的合成高分子彈性體,具有耐高溫、耐油、耐化學(xué)腐蝕等特性,在半導(dǎo)體制造中主要用于設(shè)備密封件,但傳統(tǒng)FKM在等離子體環(huán)境下易老化產(chǎn)生顆粒污染;當(dāng)前半導(dǎo)體密封件主流材料為
全氟醚橡膠
(
FFKM
),性能更優(yōu)但成本更高,國(guó)產(chǎn)化率仍在提升中。
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